2026-11-05
CKD喜开理AVB447两段式高真空角阀AVB447-40K型号含义_特点_应用
CKD 两段式高真空角阀 AVB4 系列,很多工程师第一次选型都会疑惑:网上说的"AVB4 两段式"到底对应哪个完整型号?本文把 CKD 喜开理 AVB 系列的两段式高真空角阀型号含义、常见完整订货号、产品特点与典型应用场景一次讲清,方便真空设备厂与半导体工艺工程师选型、采购与替换。
■ 一、先厘清:AVB4 两段式对应哪个完整型号
CKD 高真空用气控阀 AVB 采用成型波纹管结构,按动作方式分为 NC 型、NO 型、双作用型、两段型(二段型)、以及不锈钢阀体型。其中标准 NC 型为 AVB17,双作用型为 AVB37,两段型(即常说的"两段式")为 AVB47,不锈钢阀体型为 AVB13/AVB23/AVB33。
型号里的"4"代表孔径系列(φ39),"47"代表两段型动作。所以用户常说的"AVB4 两段式",在 CKD 物料体系里对应的完整前缀是 AVB447。两段式(Two-stage)只提供 NW25/NW40/NW50/NW63 四种法兰,分别由 AVB347/AVB447/AVB547/AVB647 制作。
■ 二、网上最常见的完整型号(可直接搜索的订货号)
以最常用的 φ39、NW40 为例,完整订货号形如:
AVB447-40K-4-D-T5H3-1(带 -H 高温规格为 AVB447-40K-4-D-T5H3-H,流体温度 5~150℃)
同系列常见完整型号:
· AVB447-25K-4-D-T5H3-1:φ39 / NW25,小口径两段式,最常用
· AVB447-40K-4-D-T5H3-1:φ39 / NW40,主力型号,搜索量与采购量最大
· AVB447-50K-4-D-T5H3-1:φ39 / NW50,大流量两段式
· AVB447-63K-4-D-T5H3-1:φ39 / NW63,大口径两段式
■ 三、型号各段含义(以 AVB447-40K-4-D-T5H3-1 为例)
· 本体 AVB447:AVB=高真空用气控阀;4=系列(孔径 φ39);47=两段型(二段型)
· 接管方式 40K:法兰规格 NW40(25K=NW25、40K=NW40、50K=NW50、63K=NW63)
· 操作孔口位置 4:控制气口可在 1~4 共四个方向任选
· 开关安装位置 D:可同时装主排气阀
· 开关型号 T5H:导线直型、有接点
· 导线长度 3:3 米(无记号为 1 米,5=5 米)
· 开关数量 1:带 1 个开关
· 高温规格 -H(可选):流体温度 5~150℃(无标记为 5~60℃)
提示:两段式只在 NW25/40/50/63 提供,没有 NW16 与 NW80;若需要 NC/双作用或不锈钢阀体,应改选 AVB417/AVB437/AVB413 等。
■ 四、两段式高真空角阀的核心特点
1、CKD 独有成型波纹管,实效 300 万次寿命:波纹管(SUS316L)既是密封又是驱动件,无动态轴封,可靠性高、耐久性强,本体为铝合金,重量轻。
2、两段式缓排、抑制压差冲击:两段阀在腔体泄压后再抽真空,能抑制大压差气流对腔体与泵组的冲击,排气更平稳,适合对压力曲线敏感的工艺。
3、低发尘、低泄漏:流路为流线型、表面光滑、无气体滞留;阀座泄漏可低至 1.33×10⁻³ Pa·m³/s(He),适合洁净与高真空环境。
4、安装与配管自由度大:操作气口可在 4 个方向任选,4 面均可装超小型位置检测开关,方便集成进设备。
5、气控驱动、本质安全:以压缩空气驱动,无电火花风险,适合易燃易爆或需防爆的工况。
■ 五、典型应用场景
· 半导体制造前/后工序:PVD/CVD/刻蚀设备的真空排气、旁路与隔离阀;真空腔体的开闭与破空控制。
· 真空镀膜与科研高真空系统:光学镀膜、太阳能薄膜、科研装置的真空管路切换。
· 需要缓排的工艺:对大压差气流敏感的腔体,用两段式平稳建立/解除真空,保护泵组与产品。
· 腐蚀性气体回路:可选 SUS 不锈钢阀体(AVB13/23/33 系列)或 FKM 密封,应对含腐蚀性介质的真空回路。
■ 六、选型与采购提示
两段式认准 AVB447 前缀,法兰按 NW25/40/50/63 选;不要与 NC 型 AVB417、双作用 AVB437 混淆。开关、导线长度、是否高温规格(-H)按需标注,可显著缩短交期。
我们常备 CKD 气动/流体阀现货与选型资料,可提供同工况选型替换与到货周期评估。如需确认具体型号、查现货或询含税报价,请联系 电话 135-2405-5842,也可查阅 CKD 产品目录 与 资料下载中心。
现货型号与交期以实际库存为准,先询先得。
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